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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching Chapman, Brian (Burroughs Corp.)
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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching
Chapman, Brian (Burroughs Corp.)
Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals.
432 pages, illustrations, bibliography, index
| メディア | 書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本) |
| リリース済み | 1980年9月25日 |
| ISBN13 | 9780471078289 |
| 出版社 | John Wiley & Sons Inc |
| ページ数 | 432 |
| 寸法 | 241 × 163 × 31 mm · 743 g |
| 言語 | 英語 |
