Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching - Chapman, Brian (Burroughs Corp.) - 書籍 - John Wiley & Sons Inc - 9780471078289 - 1980年9月11日
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Chapman, Brian (Burroughs Corp.)
Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching

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Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals.

432 pages, illustrations, bibliography, index

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 1980年9月11日
ISBN13 9780471078289
出版社 John Wiley & Sons Inc
ページ数 432
寸法 241 × 163 × 31 mm   ·   743 g
言語 英語  

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