Nguyen Van Toan
Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods Nguyen Van Toan 第1 版

Name: Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods
Price: 32468 JPY
Availability: OutOfStock
Author: Nguyen Van Toan

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Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods

Nguyen Van Toan

第1 版

Recent progress in performance enhancement methods for capacitive silicon resonator will be outlined in this work. Several technological approaches including hermetic packaging based on the LTCC substrate, deep reactive ion etching, neutral beam etching technology, and metal-assisted chemical etching, will be discussed.

162 pages, 19 Tables, black and white; 119 Illustrations, black and white

メディア	書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本)
リリース済み	2019年6月24日
ISBN13	9780367217761
出版社	Taylor & Francis Ltd
ページ数	162
寸法	240 × 162 × 16 mm · 416 g
言語	英語