Rapid Thermal Processing: Science and Technology - Fair - 書籍 - Elsevier Science Publishing Co Inc - 9780122476907 - 1993年4月15日
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Fair
Rapid Thermal Processing: Science and Technology

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Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.

430 pages

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 1993年4月15日
ISBN13 9780122476907
出版社 Elsevier Science Publishing Co Inc
ページ数 430
寸法 152 × 229 × 25 mm   ·   725 g
編集者 Fair, Richard B.

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