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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration Joachim Kusterer
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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration
Joachim Kusterer
| メディア | 書籍 Paperback Book (ソフトカバーで背表紙を接着した本) |
| リリース済み | 2010年3月16日 |
| ISBN13 | 9783869552842 |
| 出版社 | Cuvillier Verlag |
| 寸法 | 144 × 208 × 12 mm · 164 g |
| 言語 | ドイツ語 |