Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of VLSI Manufacturing - Takeshi Hattori - 書籍 - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642082726 - 2010年12月7日
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Takeshi Hattori

Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of VLSI Manufacturing Softcover reprint of hardcover 1st ed. 1998 edition

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This book thus opens the door to the manufacturing of reliable nanoscale devices and will be extremely useful for every engineer, physicist and technician involved in the production of silicon semiconductor devices.

648 pages, 345 black & white illustrations, biography

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2010年12月7日
ISBN13 9783642082726
出版社 Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数 616
寸法 155 × 235 × 36 mm   ·   934 g
言語 ドイツ語  
翻訳者 Hattori, T.
翻訳者 Heusler, S.
翻訳者 Webb, J.P.

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