Photon Sources for Lithography and Metrology - Press Monographs - Vivek Bakshi - 書籍 - SPIE Press - 9781510653719 - 2023年10月31日
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Vivek Bakshi
Photon Sources for Lithography and Metrology - Press Monographs

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Photon sources enable the extension of lithography and metrology technologies forcontinued scaling of circuit elements and therefore are the key drivers for the extension of Moore's law. This volume is the authoritative reference on photon source technology and includes contributions from leading researchers and suppliers in the field.

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2023年10月31日
ISBN13 9781510653719
出版社 SPIE Press
ページ数 1320
寸法 150 × 220 × 20 mm   ·   1,03 kg
編集者 Bakshi, Vivek

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