Extreme Ultraviolet Lithography - Press Monographs - Harry J. Levinson - 書籍 - SPIE Press - 9781510639393 - 2020年12月30日
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Harry J. Levinson
Extreme Ultraviolet Lithography - Press Monographs

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Covers the many aspects of lithographic technology that needed to be addressed in order to make EUV lithography ready for high-volume manufacturing: exposure tools, light sources, masks, resists, process control, metrology, and computational lithography. Each topic is approached from the perspective of a practicing lithographer.

245 pages

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2020年12月30日
ISBN13 9781510639393
出版社 SPIE Press
ページ数 245
寸法 252 × 176 × 16 mm   ·   440 g

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