Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems - Francis E H Tay - 書籍 - Springer-Verlag New York Inc. - 9781441953032 - 2010年12月3日
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Francis E H Tay
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2002 edition

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Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.

328 pages, 176 black & white illustrations, biography

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2010年12月3日
ISBN13 9781441953032
出版社 Springer-Verlag New York Inc.
ページ数 299
寸法 155 × 235 × 17 mm   ·   458 g
言語 英語  
編集者 Tay, Francis E. H.

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