Ion-Solid Interactions: Fundamentals and Applications - Cambridge Solid State Science Series - Nastasi, Michael (Los Alamos National Laboratory) - 書籍 - Cambridge University Press - 9780521616065 - 2004年12月2日
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Nastasi, Michael (Los Alamos National Laboratory)
Ion-Solid Interactions: Fundamentals and Applications - Cambridge Solid State Science Series

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This book describes how materials, from semiconductors to tool steels, can be modified to create new materials. Its importance is that it is the first book in two decades to describe completely the implantation process which is used universally in semiconductor production.

572 pages, 213 b/w illus. 45 tables

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2004年12月2日
ISBN13 9780521616065
出版社 Cambridge University Press
ページ数 572
寸法 164 × 232 × 35 mm   ·   880 g
言語 英語  
シリーズ編集者 Clarke, D. R.
シリーズ編集者 Suresh, S.
シリーズ編集者 Ward, I. M.

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